高级检索

ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码
磁控溅射制备Zr膜的应力研究
曹鸿, 张传军, 王善力, 褚君浩
2012, 36(6): 742-744. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.008
关键词: 薄膜, 自支撑, 应力, 磁控溅射, 探针轮廓仪